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    深城,南方光学,这是一家仙女山控股投资创办的企业,在收购了一家颇有历史的光学企业之后,大力招揽光学领域的人才。

    依托国内现有的一些供应链,南方光学在去年的时候先是搞定了可商用的I-LINE光刻机的光源系统,随后去年又搞定了KRF光源系统,协助海湾科技搞出来了KRF光刻机,并进行了商用化。

    目前正在进行DUV干式光刻机所需要的ARF光源系统的研发。

    如今的南方光学,已经迅速成长为国内光学领域里的龙头企业,其实力已经超过了国内其他的一些光学企业。

    但是即便如此,技术积累也严重不足,搞ARF光源的时候遇到了无数的麻烦,不久前的光源测试又失败了。

    这让南方光源的一群核心研究人员愁眉不展!

    “这么下去不行啊,我们的研发进度已经拖延了不少,海湾科技那边都已经把机台搞出来了,就等着我们的光源呢。”

    “上一次的测试失败,关键还是材料问题,其中的几种材料因为性能参数太低,我们不得不采用了多种折衷的办法来实现设计效果,但是绕了太多弯路,导致整个系统太复杂,故障率也是水涨船高!”

    “这样的光源系统看似是做出来了,但是根本没办法用于商用!”

    而就在这个时候,南方光学的科研老大,来到了仙女山控股总部公司里,看到了一枚小小的闪存芯片。

    随后打开,并输入了复杂密码对内部储存的文件进行了解密后,这个负责人眼睛都呆住了。

    “这些资料从哪里来的?”

    “这是EUV光源系统的整体设计啊,而且还如此的详细,涉及到了每一项零配件的详细参数!”

    “还有这个ARF光源系统,这不就是ASML现在的DUV光刻机上用的光源系统嘛?你们怎么弄来的这这些资料啊?”

    仙女山控股过来送资料的人道:“别问我,我也不知道,我劝你最好也别问,很多事知道的太多对你没什么好处!”

    “让你过来,是让你充当顾问,指导我们对文件进行删改,只要要把这些同行公司的名称给删除了,不然直接拿去给技术人员看,影响不太好!”

    “没问题,我保证把文件删改的让人看不出来明显痕迹,不过这技术特征太明显了,这要是原样做出来的话,稍微懂行的人都能看出来我们是抄的!”

    “那就是抄的呗,国内的DUV光刻机多了去,我们拆开几台看看,抄一抄也是很正常的!”

    不用多久,经过了初步整理的资料被送到了南方光学,并陆续以各种名义分批,分批发放部分ARF光源系统的研发资料。

    问就是公司机密,别问那么多。

    然后南方光学在ARF光源领域的研发瞬间提速……当然,就算是提速了也不可能一下子就把成熟可用的ARF光源系统弄出来,其中不少是涉及到原料的难点,人家给的资料只是告诉你用什么材料做,材料要达到什么性能。

    但是材料怎么来的……这就需要南方光学自己要么自己研发,要么满世界寻找供应商了。

    “目前DUV光刻机的研发还是比较顺利的,也许今年夏天的时候我们就能够做出来第一台的样机,如果没有出现什么大问题的话,秋天的时候我们就能尝试做几台交付智云微电子那边进行测试,明年就能进行大规模量产!”

    海湾科技的总经理王道林,心情很不错的出现在柳河投资的董事长办公室里,一边泡着茶一边道:“徐董你大可放心,本来我对这个DUV干式光刻机项目多少还有些信心不足,不过最近一年来各子系统的推进进展非常顺利,光源系统的南方光学已经给我打了包票,说他们最迟在六月份就交付第一套的ARF光源系统,这-->>

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