套光源系统是波长193纳米的，而且不是之前的那种测试用的光源，而是可以直接使用的光源！”
“北林精密的双工作台做起来虽然难一些，做起来的性能参数不如国外同类产品，但是勉强也可以用！”
“其他的几个子系统如今大多也做的差不多了，就等着光源那边搞定，然后我们就尝试搞一台样机出来了！”
徐申学面带微笑听着，时不时喝口茶：“这是大好事啊，有了这个DUV干式光刻机，那么智云半导体那边的六十五纳米工艺节点也就有了自家的光刻机可用了！”
“加油干，光刻机乃是半导体产业链里的核心设备，尽快搞出来，此外其他的一些关键设备也不能落下，记得我们的目标，不是单纯的光刻机，而是整条生产线上的关键设备。”
“能搞的都要搞，搞不了的也要强行搞，我们要的不是一台孤零零的光刻机，而是一整套的先进工艺芯片生产线，所以其他的几种关键设备也要尽快进度。”
王道林道：“明白的，我们海湾科技里的项目是非常多的，前道光刻机也只是我们公司里的其中一个重要项目而已，我们在后道光刻机领域上也进展非常快，已经大量给智云微电子乃至其他一些芯片厂商供货了，而且我们的后道光刻机技术推进非常快速，已经迭代了第三代，我们的第三代后道光刻机，甚至都可以满足三十二纳米乃至潜在更低的二十八纳米制程工艺的生产了，并且在生产效率上并不会比国外同类产品差。”
“同时我们的成本更低，售价更低，维护以及耗材费用也更低，在市场上具有很不错的竞争力。”
“甚至是一些国外的芯片工厂已经开始咨询我们，尝试采购我们的第二代或第三代后道光刻机了！”
“然后还有蚀刻机项目、离子注入机这两项关键设备，也是我们公司的重点项目，我们都已经研发出来了第一代产品，并供应给了智云微电子那边用于低制程工艺生产！”
“目前智云微电子那边的130纳米节点以上的落后工艺的多种关键设备，都已经转为采购我们海湾科技的设备了，整体来说我们的这两种设备还处于第一代， 效率上差一些，故障小毛病也多，但是我们的出货价更便宜，只有进口产品的几分之一的价格，后续维护、零配件的价格也更便宜，因此算到最后的芯片生产成本上，大概能够做到和进口设备的生产线持平！”
“如今我们公司正在组织精干力量，并汇同供应商一起攻坚第二代蚀刻机以及离子注入机项目，争取年底看看能不能把第二代也弄出来，以满足六十五纳米节点工艺的生产线需求！”
“此外智云微电子那边，他们自己也有设备部门，自研了一部分关键设备以及常规设备，他们的清洗设备以及去胶设备就做的很不错。”
“我们海湾科技以及智云微电子的设备自研部门，所研发的各项半导体生产线设备，基本上覆盖了生产线的几乎所有核心关键设备，一些没有搞的设备，也能在国内能够找到供应商。”
“我们应该有希望在后年之前，完成全套的130纳米工艺阶段全面自主化，不需要进口哪怕一个螺丝钉，也能够生产出来130纳米工艺节点的芯片！”
“后续的更高制程工艺的设备要更复杂一些，光靠我们两家搞有些吃力，想要做到全面国产化难度太大了。”
徐申学道：“这一点不用担心，前些时候我去京城参加了个座谈会，就六十五纳米工艺节点的自主化问题做了专题汇报，他们已经答应了我会调动相关科研所，企业参与进来，后续他们会陆续接手部分子系统以及一些基础材料方面的研发！”
“估计就在这个月里，他们会陆续联系你，到时候你做好对接工作，把一些低效的，没有什么意义的重复研发工作分包出去，尤其是需要用到大量人力资源的研发项目让他们去搞，我们公司-->>